文章插图
4)的步进扫描过程示意图如下:
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5)为了防止各层电路相互干扰,需要对上下平台进行精确的运动控制 。扫描时,上下平台应处于匀速运动阶段 。目前最小的堆叠误差小于2nm(单机内)或3nm(机间) 。
6)光源的波长一般为365、248、193、157甚至13.5nm(EUV,) 。由于光刻工艺受衍射限制,光源波长越小,可以制作的芯片尺寸越小 。
7)在透镜和晶圆之间添加折射率大于1的液体(如水)可以减少光的波长,从而提高NA(数值孔径)和分辨率 。这种光刻机称为浸入式()光刻机 。
8)目前世界上高端光刻机的主要厂商有ASML、尼康和佳能 。佳能可能已经死了 。尼康每年都会召开一次会议 。
5种集成电路封装形式
(1)SOP小外形封装
SOP,也称为 SOL 和 DFP,是一种非常常见的组件形式 。它也是表面贴装封装之一,引脚从封装的两侧引出,呈鸥翼(L形)形状 。包装材料分为塑料和陶瓷两种 。始于 70 年代后期 。
SOP 封装有广泛的应用 。SOP除了用于存储器LSI外,在输入输出端子不超过10-40的领域是最流行的表面贴装封装 。后来为了适应生产的需要,逐渐衍生出SOJ、SSOP、TSSOP、SOIC等一些小外形封装 。
(2)PGA 引脚网格阵列封装
PGA芯片封装在微处理器的封装中很常见 。通常,集成电路(IC)封装在陶瓷芯片中 。陶瓷芯片底部排列成方针 。这些引脚可以插入并焊接到电路板上的相应插座中,非常适合需要频繁插波的应用 。对于具有相同引脚的芯片,PGA 封装通常比过去常见的双列直插式封装需要更少的面积 。
PGA封装具有插件操作更方便、可靠性高、对更高频率的适应性等特点 。早期的芯片,InTel 系列 CPU 中的 80486 和 80486 都采用这种封装形式 。
(3)BGA球栅阵列封装
BGA 封装是从 PGA 引脚网格阵列改进而来的 。它是一种封装方法,其中表面覆盖有网格状排列的引脚 。在操作期间,可以从集成电路传输电子信号 。传导至其所在的印刷电路板 。在 BGA 封装下,封装底部的引脚被焊球取代,焊球可以手动放置,也可以通过自动机器放置并通过助焊剂定位 。
BGA 封装可以容纳比其他封装(例如双列直插封装或四方扁平封装)更多的引脚 。器件的整个表面都可以用作引脚,这比周围有限的封装类型更有效 。具有更短的平均线长,可实现更高的高速性能 。
(4)DIP封装
所谓DIP封装是指以双列直插形式封装的集成电路芯片 。. DIP 封装的 CPU 芯片有两排引脚,需要插入具有 DIP 结构的芯片插槽中 。DIP 封装的芯片应小心地从芯片插槽中取出,以免损坏引脚 。
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