无尘室工程 _生活百科

无尘室工程【无尘室工程】无尘室工程(Clean Room)，亦称为无尘室或清净室。它是污染控制的基础。没有无尘室，污染敏感零件不可能批量生产。在 FED-STD-2里面，无尘室被定义为具备空气过滤、分配、最佳化、构造材料和装置的房间，其中特定的规则的操作程式以控制空气悬浮微粒浓度，从而达到适当的微粒洁净度级别。无尘室是指将一定空间範围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求範围内，而所给予特别设计之房间。
基本介绍中文名：无尘室工程
外文名：Clean Room
亦称：无尘室或清净室
定义：空气过滤、最佳化装置的房间
无尘室构成无尘室的构成是由下列各项系统所组成（在所组成的系统分子中是缺一不可的），否则将无法构成一完整且品质良好的无尘室：⑴天花板系统　包括吊桿（Ceiling rod）、纲梁（I-Beam或U-Beam）、天花板格子梁（Ceiling grid或Ceilingframe）。⑵空调系统　包括空气舱、过滤器系统、风车等。⑶隔墙板（Partitional wall)　包括窗户、门。⑷地板　包括高架地板或防静电地板、以及环氧自流平及滚涂地面。⑸照明器具　包括日光灯、黄色灯管等。⑹无尘室之建筑主体构造　一般是用钢筋或骨水泥，但无论是何种构造，必须满足如下之条件：A.不会因温度变化与振动而发生裂痕；B.不易产生微尘粒子，且很难附着粒子；C.吸湿性小；D.为了维持室内之湿度条件，热绝缘性要高；无尘室的标準世界各国均有自定规格，但普遍依据美国联邦政府颁布的标準【Federal Standard (FS) 209E, 1992】，可将无尘室分为六级。分别是1级、10级、100级、1000级、10000级、100000级，如果无尘室的等级只用尘粒数目来叙述，则可假设尘粒的尺寸为0.5μm，例如，1级、10级、100级无尘室最大尘粒数目分别小于或等于1颗、10颗、100颗，如果尘粒尺寸不是0.5μm，无尘室等级应以在一特定尘粒尺寸的级数来表示。例如：10级在0.2μm(尘粒尺寸在0.2μm或更大下，密度不大于75颗/立方英尺)，1级在0.1μm(尘粒尺寸在0.1μm或更大下，密度不大于35颗/立方英尺) 。控管项目1. 能除去空气中飘游之微无尘室尘粒子。2. 能防止微尘粒子之产生。3. 温度和湿度之控制。4. 压力之调节。5. 有害气体之排除。6. 结构物与隔间之气密性。7. 静电之防制。8. 电磁干扰预防。9. 安全因素之考虑。10. 节能之考量。11.照度的的调节12.浮游菌及沉降菌的控制气流之流动无尘室的洁净度往往受到气流的影响，换言之，即人、机器隔间、建筑结构等所产生的尘埃之移动、扩散受到气流的支配。无尘室系利用HEPA、ULPA过滤空气，其尘埃的收集率达99.97~99.99995%之多，因此经过此过滤器过滤的空气可说十分乾净。然而无尘室内除了人以外，尚有机器等之发尘源，这些发生的尘埃一旦扩散，即无法保持洁净空间，因此必须利用气流将发生的尘埃迅速排出室外。无尘室内的气流是左右无尘室性能的重要因素，一般无尘室的气流速度是选0.25~0.5m/s之间，此气流速度属微风区域，易受人、机器等的动作而干扰趋于混乱、虽提高风速可抑制此一扰乱之影响而保持洁净度、但因风速的提高，将影响运转成本的增加，所以应在满足要求的洁净度水準之时，能以最适当的风速供应，以达到适当的风速供应以达到经济性效果。另一方面欲达到无尘室洁净度之稳定效果，均一气流之保持亦为一重要因素，均一气流若无法保持，表示风速有异，特别是在壁面，气流会延着壁面发生涡流作用，此时要实现高洁净度事实上很困难。垂直层流式方向要保持均一气流必须：（a）吹出面的风速不可有速度上的差异；（b）地板迴风板吸入面之风速不可有速度上的差异。速度过低或过高（0.2m/s，0.7m/s）均有涡流之现象发生，而0.5m/s之速度，气流则较均一，目前一般无尘室，其风速均取在0.25~0.5m/s之间。影响无尘室的气流因素很多，如製程设备、人员、无尘室组装材、照明器具等，同时对于生产设备上方气流的分流点，亦应列入考虑因素。一般操作台或生产设备等表面的气流分流点，应设于无尘室空间与隔墙板间距2/3之处，如此可使作业人员工作时，气流可从製程区内部流向作业区，而将微尘带走；若分流点配置在製程区前方，将成为不当的气流分流，此时大部分的气流将流至製程区之后，作业员操作所引起的尘埃将被带到设备后面，工作檯因而将受到污染，良率也势必降低。无尘室内的工作桌等障碍物，在相接处均会有涡流现象发生，相对地在其附近之洁净度将会较差，在工作桌面钻上迴风孔，将使涡流现象减少最低；组装材料之选择是否恰当、设备布局是否完善，亦为气流是否成为涡流现象之重要因素。无尘室等级标準美国联邦标準（< USA Federal Standard ）209E （1992 年）PC/ft3洁净度级别粒径 (um)0.1 0.2 0.3 0.5 5.01 35 7.5 3 1 NA10 350 75 30 10 NA100 NA 750 300 100 NA1000 NA NA NA 1000 710000 NA NA NA 10000 70100000 NA NA NA 100000 700中国药品生产无尘车间（区）的空气洁净度标準洁净度级别尘埃最允许数 /平方米微生物最大允许数≥0.5um 5um 浮游菌个 /立方米沉降菌个 /皿.30min100 3500 0 5 110000 350000 2000 100 3100000 3500000 20000 500 10300000 10500000 61800 NA 15无尘车间及洁净区空气中悬浮粒子洁净度等级GB50073-2001空气洁净度等级 (N) 大于或等于表中粒径的最大浓度限值 (pc/m3)0.1μm 0.2μm 0.3μm 0.5μm 1μm 5μm1 10 22 100 24 10 43 1000 237 102 35 84 10000 2370 1020 352 835 100000 23700 10200 3520 832 296 1000000 237000 102000 35200 8320 2937352000 83200 293083520000 832000 29300935200000 8320000 293000