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浅沟道隔离【浅沟道隔离】浅沟道隔离（Shallow Trench Isolation）是一种常用在传统CMOS硅工艺中隔离器件的工艺技术 。
基本介绍中文名：浅沟道隔离
外文名：Shallow Trench Isolation
别名：STI
相关：LOCOS
浅沟道隔离（Shallow Trench Isolation）是一种常用在传统CMOS硅工艺中隔离器件的工艺技术，另一种为LOCOS 。
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浅沟道隔离【浅沟道隔离】浅沟道隔离（Shallow Trench Isolation）是一种常用在传统CMOS硅工艺中隔离器件的工艺技术 。
基本介绍中文名：浅沟道隔离
外文名：Shallow Trench Isolation
别名：STI
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浅沟道隔离（Shallow Trench Isolation）是一种常用在传统CMOS硅工艺中隔离器件的工艺技术，另一种为LOCOS 。