文章插图
低气压低温电浆诊断原理与技术【低气压低温电浆诊断原理与技术】《低气压低温电浆诊断原理与技术》是2010年6月1日科学出版社出版的图书，作者是叶超 。
基本介绍书名：低气压低温电浆诊断原理与技术
作者：叶超
ISBN：9787030275295
定价：56.00元
出版社：科学出版社
出版时间：2010年6月1日
开本：16开
内容简介《低气压低温电浆诊断原理与技术》介绍了低气压低温电浆诊断技术的基础知识，总结了近年来该领域的一些进展，提供了低气压低温电浆诊断技术套用的实例 。全书共7章 。第1-3章主要介绍了电浆的基本概念与性质，低温电浆的产生方法和电浆中的基本化学过程 。第4章着重讲述了低气压低温电浆的探针诊断技术及其套用 。第5章介绍了低气压低温电浆的波干涉诊断技术 。第6章和第7章分别讲述了低气压低温电浆的光谱和质谱诊断技术及其套用 。本书附录中收集整理了部分原子、分子、离子发光的特徵光谱谱线 。编辑推荐《低气压低温电浆诊断原理与技术》可供进入低温电浆技术领域学习与工作的研究生、本科生以及技术人员参考使用 。图书目录第1章 电浆基本概念和性质1.1 电浆概念1.1.1 电浆的定义1.1.2 电浆的分类1.2 电浆的导电性与準电中性1.2.1 电浆的导电性1.2.2 电浆的準电中性1.3 电浆的基本参量1.3.1 电浆密度与电离度1.3.2 电浆温度1.3.3 德拜长度1.3.4 电浆鞘层1.3.5 电浆频率1.3.6 电浆的时空特徵量1.4 电浆中带电粒子的扩散1.5 低气压低温电浆诊断方法概述参考文献第2章 气体放电电浆基础2.1 直流辉光放电2.1.1 帕邢定律2.1.2 直流辉光放电特性2.2 射频辉光放电2.2.1 射频放电过程2.2.2 射频电浆中的自偏压2.2.3 射频放电的优点2.2.4 射频放电的产生方法2.3 微波放电2.4 微波电子迴旋共振放电参考文献第3章 电浆化学基础3.1 化学反应的表征3.2 电浆中的化学反应3.2.1 同相反应3.2.2 异相反应3.3 化学反应链3.4 电浆与表面相互作用3.4.1 电浆与固体表面的物理作用3.4.2 离子和电子诱导的表面化学反应3.4.3 能量传递3.4.4 对薄膜沉积的影响3.4.5 电浆诱导损伤参考文献第4章 低气压低温电浆的探针诊断4.1 朗缪尔探针诊断的基本方法4.1.1 朗缪尔探针结构与工作电路4.1.2 朗缪尔探针的电压.电流特性4.1.3 从探针I-V特性曲线获取电浆参数4.1.4 探针诊断的条件、优点与缺点4.1.5 探针测量误差的主要来源4.2 朗缪尔探针的基本理论4.2.1 无碰撞鞘层4.2.2 平面探针4.2.3 圆柱形探针4.3 非麦克斯韦分布的探针理论4.4 各向异性电浆的探针诊断4.5 碰撞对探针诊断的影响4.6 磁化电浆中的朗缪尔探针4.6.1 磁场的影响4.6.2 磁化电浆中的探针测量4.7 射频电浆中的朗缪尔探针4.7.1 射频电浆中的探针特性4.7.2 射频补偿方法4.7.3 无补偿的测量条件4.8 朗缪尔探针方法的空间和时间解析度4.8.1 朗缪尔探针方法的空间解析度4.8.2 朗缪尔探针方法的时间解析度4.9 化学活性电浆的探针诊断4.9.1 化学活性电浆中的探针污染4.9.2 发射探针技术4.9.3 电容耦合探针技术4.9.4 悬浮探针技术4.9.5 三探针技术4.9.6 射频阻抗探针和电浆振荡探针技术4.9.7 热探针技术4.9.8 探针表面的清洗方法4.10 探针I-V特性的二次微分方法4.10.1 探针I-V特性二次微分的微分电路法4.10.2 探针I-V特性二次微分的交流测量法4.10.3 探针I-V特性二次微分的数值微分法4.11 双探针技术4.12 其他探针技术4.12.1 磁探针4.12.2 能量分析器4.12.3 射频电流探针4.13 低气压低温电浆的探针诊断套用实例4.13.1 薄膜沉积的探针诊断4.13.2 脉冲雷射电浆的探针诊断4.13.3 尘埃电浆的探针诊断4.13.4 甚高频放电电浆的探针诊断参考文献第5章 低气压低温电浆的波干涉诊断5.1 微波干涉法5.2 传输线微波干涉法5.3 雷射干涉法5.4 雷射双色干涉法参考文献第6章 低气压低温电浆的光谱诊断6.1 电浆光谱的产生机理6.2 发射光谱6.2.1 电浆发射光谱的谱特性6.2.2 发射光谱诊断的实验装置6.2.3 发射光谱方法的优点与缺点6.3 发射光谱的光化线强度测定法6.4 电浆温度的光谱测量6.4.1 惰性示蹤气体发射光谱法测量电子温度6.4.2 光强比值法测量电子温度6.4.3 发射光谱法测量分子转动温度、振动温度6.5 吸收光谱6.5.1 吸收光谱原理6.5.2 吸收光谱实验装置6.6 雷射诱导萤光光谱6.6.1 雷射诱导萤光原理6.6.2 雷射诱导萤光光谱的实验装置6.6.3 雷射诱导萤光光谱方法的优点与缺点 6.7 光腔衰荡光谱6.7.1 光腔衰荡光谱原理6.7.2 光腔衰荡光谱实验装置6.7.3 光腔衰荡光谱实验数据的获得6.8 低气压低温电浆的光谱诊断套用实例6.8.1 C基气体分子放电电浆的光谱诊断6.8.2 Si基气体分子放电电浆的光谱诊断6.8.3 F基气体分子放电电浆的光谱诊断6.8.4 电浆材料加工工艺的终点探测参考文献第7章 低气压低温电浆的质谱诊断7.1 质谱诊断的基本原理7.2 四极质谱仪7.2.1 四极质谱仪的主要结构与工作原理7.2.2 四极质谱仪的解析度7.2.3 四极质谱仪的标定7.2.4 四极质谱仪的优点与缺点7.2.5 AccuQuad 100D四极质谱仪介绍7.3 飞行时间质谱仪7.4 磁偏转质谱仪7.5 质谱仪与电浆系统的连线7.5.1 机械连线7.5.2 电连线7.6 质谱数据的表示方法7.6.1 质谱数据的表示7.6.2 图形係数7.7 中性气体的质谱分析7.7.1 中性气体的四极质谱分析技术7.7.2 中性气体质谱的成分识别7.7.3 中性气体质谱的相对浓度测定7.8 离子的质谱分析7.8.1 离子的四极质谱分析技术7.8.2 离子密度与离子能量分布的确定7.8.3 电浆的离子质谱分析7.9 用质谱确定电浆物理基本数据7.10 低气压低温电浆的质谱诊断套用实例7.10.1 Si基分子放电电浆的质谱分析7.10.2 C基分子放电电浆的质谱分析7.10.3 F基分子放电电浆的质谱分析7.10.4 脉冲雷射烧蚀Ni、Al、ZnO靶的四极质谱和飞行时间质谱分析附录部分受激原子、分子、离子发光特徵谱线表