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电浆表面处理仪【电浆表面处理仪】电浆表面处理仪是通过利用对气体施加足够的能量使之离化成为等离子状态，利用这些活性组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁、改性、光刻胶灰化等的目的 。
基本介绍中文名：电浆表面处理仪
外文名：Plasma Cleaner
定义：电子设备
目的：清洁、改性、光刻胶灰化等
用途：医用材料研究，生物晶片领域
处理对象：金属，半导体，氧化物等
简介电浆表面活性仪（Plasma Cleaner）工作原理首先，我们来说一下什幺叫做电浆 。电浆又叫做电浆，是由部分电子被剥夺后的原子及原子被电离后产生的正负电子组成的离子化气体状物质，它广泛存在于宇宙中，常被视为是除去固、液、气外，物质存在的第四态 。电浆是一种很好的导电体，利用经过巧妙设计的磁场可以捕捉、移动和加速电浆 。电浆物理的发展为材料、能源、信息、环境空间，空间物理，地球物理等科学的进一步发展提新的技术和工艺 。等离子清洗机产生电浆的装置是在密封容器中设定两个电极形成电场，用真空泵实现一定的真空度，随着气体愈来愈稀薄，分子间距及分子或离子的自由运动距离也愈来愈长，受电场作用，它们发生碰撞而形成电浆，这些离子的活性很高，其能量足以破坏几乎所有的化学键，在任何暴露的表面引起化学反应，不同气体的电浆具有不同的化学性能，如氧气的电浆具有很高的氧化性，能氧化光刻胶反应生成气体，从而达到清洗的效果；腐蚀性气体的电浆具有很好的各向异性，这样就能满足刻蚀的需要 。利用等离子处理时会发出辉光，故称之为辉光放电处理 。电浆清洗的机理，主要是依靠电浆中活性粒子的“活化作用”达到去除物体表面污渍的目的 。就反应机理来看，电浆清洗通常包括以下过程：无机气体被激发为等离子态；气相物质被吸附在固体表面；被吸附基团与固体表面分子反应生成产物分子；产物分子解析形成气相；反应残余物脱离表面 。产品特点电浆清洗技术的最大特点是不分处理对象的基材类型，均可进行处理，对金属、半导体、氧化物和大多数高分子材料，如聚丙烯、聚脂、聚醯亚胺、聚氯乙烷、环氧、甚至聚四氟乙烯等都能很好地处理，并可实现整体和局部以及複杂结构的清洗 。电浆清洗还具有以下几个特点：容易採用数控技术，自动化程度高；具有高精度的控制装置，时间控制的精度很高；正确的电浆清洗不会在表面产生损伤层，表面质量得到保证；由于是在真空中进行，不污染环境，保证清洗表面不被二次污染 。用途（1）医用材料研究，主要为研究和开发企业或研究所；（2）电子领域，套用较为广泛，如电路板等；（3）生物晶片领域；（4）高分子材料研究或开发单位；（5）高端和精密研究的清洗、除污 。保证仪器的正常使用；（6）光学材料的开发和研究；（7）电化学单位，进行表面处理的单位；（8）其他主要进行表面处理的单位 。