离子清洗机 _生活百科

离子清洗机【离子清洗机】离子清洗机，又名等离子清洗机，是通过电浆中活性粒子的“活化作用”达到去除物体表面污渍的清洗设备。
基本介绍中文名：离子清洗机
别称：等离子清洗机
性质：清洗设备
目的：去除物体表面污渍
清洗原理无机气体被激发为等离子态→气相物质被吸附在固体表面→被吸附基团与固体表面分子反应生成产物分子→产物分子解析形成气相→反应残余物脱离表面。清洗特点1、离子清洗机不分处理对象的基材类型，均可进行处理，如金属、半导体、氧化物和大多数高分子材料等，并可实现整体和局部以及複杂结构的清洗。2、容易採用数控技术，自动化程度高。3、具有高精度的控制装置，时间控制的精度很高。4、正确的电浆清洗不会在表面产生损伤层，表面质量得到保证。5、在真空中进行，不污染环境，保证清洗表面不被二次污染。清洗分类性能离子清洗机主要通过反应类型和激发频率两个方面来分类。反应类型分类电浆与固体表面发生反应可以分为物理反应（离子轰击）和化学反应。物理反应机制是活性粒子轰击待清洗表面，使污染物脱离表面最终被真空泵吸走。物理反应为主的电浆清洗，也叫做溅射腐蚀（SPE）或离子铣（IM），其优点：本身不发生化学反应，清洁表面不会留下任何的氧化物，可以保持被清洗物的化学纯净性。缺点：对表面产生了很大的损害，会产生很大的热效应，对被清洗表面的各种不同物质选择性差，腐蚀速度较低。典型的电浆物理清洗工艺是氩气电浆清洗。化学反应机制是各种活性的粒子和污染物反应生成易挥发性的物质，再由真空泵吸走挥发性的物质。化学反应为主的电浆清洗的优点：清洗速度较高、选择性好、对清除有机污染物比较有效，缺点：表面产生氧化物。典型的电浆化学清洗工艺是氧气电浆清洗。通过电浆产生的氧自由基非常活泼，容易与碳氢化合物发生反应，产生二氧化碳、一氧化碳和水等易挥发物，去除表面的污染物。激发频率分类等离子态的密度和激发频率的关係式： nc=1.2425×108v2 ，其中nc为等离子态密度（cm-3）， v为激发频（Hz）。电浆激发频率分为：频率为40kHz的电浆为超声电浆， 13.56MHz的电浆为射频电浆， 2.45GHz的电浆为微波电浆。超声电浆的自偏压为1000V左右，射频电浆的自偏压为250V左右，微波电浆的自偏压很低，只有几十伏。超声电浆发生的反应为物理反应，射频电浆发生的反应既有物理反应又有化学反应，微波电浆发生的反应为化学反应。