天合扩散用的什么设备

【天合扩散用的什么设备】

天合扩散用的什么设备

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天合扩散用的太阳能电池扩散设备,扩散炉内产生的废气,再通过管道从机台排风端排出,机台排风端安装排风压力控制阀和相应的排风压力控制器 。抽气排风压力稳定后,磷在硅片中的注入浓度稳定后,方块电阻也随之稳定,可以提升最终太阳能电池的效率 。太阳能电池扩散设备是太阳能电池片形成PN结的核心组件,扩散炉的质量直接影响到电池片的性能 。太阳能厂家流行的扩散方式有开管扩散、闭管扩散、软着陆扩散,其中开管扩散的产量较低,偏磷酸的用量比较大 。