文章插图
1、化合物制造:化肥、氨、硝酸等化合物的制造 。
【稀有气体的用途 氮气的用途】2、惰性保护:惰性保护介质,速冻食品 。
3、制冷剂:低温粉碎等的制冷剂、冷却剂 。
4、电子工业:电子工业中的外延、扩散、化学气相淀积、离子注入、等离子干刻、光刻等 。
5、标准物:用作标准气、校正气、零点气、平衡气等 。
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