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probe station探针台主要套用于半导体行业以及光电行业的测试 。
探针台从操作上来区分有:手动，半自动，全自动
【probe station】从功能上来区分有:高温探针台，低温探针台，RF探针台，LCD平板探针台，霍尔效应探针台，表面电阻率探针台
基本介绍中文名：探针台
外文名：probe station
材质：花岗岩台面+不鏽钢
适用领域：12寸Wafer、IC测试之产品
显微镜：轴方向升降10mm
探针台主要套用于半导体行业以及光电行业的测试 。探针台从操作上来区分有：手动，半自动，全自动从功能上来区分有：高温探针台，低温探针台，RF探针台，LCD平板探针台，霍尔效应探针台，表面电阻率探针台经济手动型 chuck尺寸100mmX,Y移动行程100mmchuck Z轴方向升降10mm（选项）搭配AEC实体显微镜针座摆放个数2～4颗适用领域：4寸Wafer，如晶圆厂、LED、学术单位等手动型chuck尺寸800mm/600mmX,Y电动移动行程200mm/150mmchuck粗调升降9mm，微调升降16mm可搭配MITUTOYO晶像显微镜或者AEC实体显微镜针座摆放个数6～8颗显微镜X-Y-Z移动範围2"x2"x2"可搭配Probe card测试适用领域：8寸/6寸Wafer、IC测试之产品电动型 chuck尺寸1200mm，平坦度土1u（不鏽钢或镀金）X,Y电动移动行程300mm x 300mmchuck粗调升降9mm，微调升降16mm，微调精度土1u可搭配MITUTOYO晶像显微镜或者AEC实体显微镜针座摆放个数8～12颗显微镜X-Y-Z移动範围2“x2”x2“材质：花岗岩台面+不鏽钢可搭配Probe card测试适用领域：12寸Wafer、IC测试之产品LCD半自动探针台机械手臂取放片电动、键入坐标寻位置量测尺寸（mm）：1800x1600、1300x1200、1200x1000LCD手动探针台白炽灯或者LED整面背光TFT元件特性、Driver IC量测分析机台尺寸（mm）：800x600、500x400、300x300PCB量测探针台高频测试探头GSG / GS / SG频率10GHZ / 40GHZ / 50GHZ / 67GHZ机台尺寸同LCD 探针台太阳能产业探针台（Solar Cell 量测系统）量测软体:I-V /C-V Curve, Isc, Voc,Pmax, Imax, Vmax, RS, Fill Factor,Power Convert Efficiency採用KEITHLEY Source Meter可加配任意品牌之太阳光模拟器自动探针台的维护1 探针测试台x-y工作檯的分类纵观国内外的自动探针测试台在功能及组成上大同小异，即主要由x-y向工作檯，可程式承片台、探卡/探卡支架、打点器、探边器、操作手柄等组成，并配有与测试仪（TESTER）相连的通讯接口 。但如果按其x-y工作檯结构的不同可为两大类，即：以美国EG公司为代表的平面电机型x-y工作檯（又叫磁性气浮工作檯）自动探针测试台和以日本及欧洲国家生产的採用精密滚珠丝槓副和直线导轨结构的x-y工作檯型自动探针测试台 。由于x-y工作檯的结构差别很大，所以其使用维护保养不可一概而论，应区别对待 。2 x-y工作檯的维护与保养无论是全自动探针测试台还是自动探针测试台，x-y向工作檯都是其最核心的部分 。有数据表明探针测试台的故障中有半数以上是x-y工作檯的故障，而工作檯故障有许多是对其维护保养不当或盲目调整造成的，所以对工作檯的维护与保养就显得尤为重要 。本文仅对自动探针测试台x-y工作檯的维护与保养作一介绍 。2．1 平面电机x-y步进工作檯的维护与保养平面电机由定子和动子组成，它和传统的步进电机相比其特殊性就是将定子展开，定子是基础平台， 动子和定子间有一层气垫，动子浮于气垫上，而可程式承片台则安装在动子之上 。这种结构的x-y工作檯，由于动子和定子间无相对摩擦故无磨损，使用寿命长 。而定子在加工过程中生产厂家根据不同的设计要求如分辨力等，用机加工的方法在一平面的铁制铸件上加工出若干个线槽，线槽间的距离即称为平面电机的齿距，而定子则按不同的细分控制方式，按编制好的运行程式藉助于平面定子和动子之间的气垫才能实现步进运动 。对定子的损伤将直接影响工作檯的步进精度及设备使用寿命，损坏严重将造成设备无法使用而报废 。由于平面电机的定子及动子是完全暴露在空气中，所以潮湿的环境及长时期保养不当将很容易使定子发生鏽蚀现象，另外重物的碰撞及坚锐器物的划伤都将对定子造成损伤，而影响平面电机的步进精度及使用寿命，对于已生鏽的定子可以用天然油石轻轻地向一个方向打磨定子的表面，然后用脱脂棉球蘸煤油清洗，整个过程操作要十分地细心，不可使定子表面出现凹凸不平的现象 。另外也可用没有腐蚀性，不损坏定子的除锈剂除锈 。对于正常情况下的定子则要定期作除尘清理工作，清理时应先通入大气以便动子移动，方法是用脱脂棉蘸少许大于95%的无水乙醇，轻擦定子表面，然后用专用工具撬起动子，方法同前， 轻擦动子表面，动子的表面有若干个气孔，它是定子和动子间压缩空气的出孔，观察这此气孔的放气是否均匀，否则用工具小心旋开小孔中内嵌气孔螺母检查是否有杂质堵塞气孔，处理完毕后应恢复内嵌气孔螺母原始状态 。需要特别注意的是在未加压缩空气时不可强行拉动动子，以免造成定子及动子的损伤 。平面电机应使用在环境温度15～25 ℃，相对湿度小于50%的环境中，其所需的压缩空气必须经过乾燥过滤处理且与环境空气温度差值小于5 ℃，气压为0．4±0．04MPa 。2．2 滚珠丝槓副和导轨结构x-y工作檯的维护与保养相对于平面电机工作檯，丝槓导轨结构的工作檯结构组成较複杂，工作檯由上层（x向）及下层（y向）两部分组成 。工作檯由两个步进电机分别驱动x、y向精密滚珠丝槓副带动工作檯运动，导向部分採用精密直线滚动导轨 。由于运动部分全部採用滚动功能部件，所以具有传动效率高、摩擦力矩小，使用寿命长等特点 。这种结构的工作檯应放置在温度23±3 ℃，湿度≤70%，无有害气体的环境中，滚珠丝槓、直线导轨应定期加精密仪表油，但不可过多，值得指出的是，这种结构的工作檯在装配过程中，从直线导轨的直线性，上下层工作檯之间的垂直度以及工作檯的重複性，定位精度等都是用专业的仪器仪表调整，用户一般情况不能轻易改变，一旦盲目调整后很难恢复到原来的状态，所以对需要调整的工作檯应有专业生产厂家或经过培训的专业人员完成 。