CuKα射线【CuKα射线】CuKα射线的产生过程是：通过高能电子流轰击铜靶，产生多个特徵波长的萤光X射线，其中主要成分是波长为1.5418?的射线，称为Kα射线。
K系射线中，Kα射线相当于电子由L层跃迁到K层产生的射线，在特徵X射线中K系射线强度远远高于L、M等线系，而K系中Kα1、Kα2、Kβ1的强度比一般为100:50:22 。Kα1与Kα2非常接近，二者很难分离，所谓的Kα实际是二者的统称，而Kβ1则通常称为Kβ 。Cu的特徵谱线波长为：Kα1 1.54056?，Kα2 1.54439?，Kβ1 1.39222?，... 。对于Cu靶，Kα波长取Kα1与Kα2的加权平均值为1.54184? 。X射线是否进行过单色化处理很容易判断 。工作时无论採用何种靶材，基本上都首选Kα线 。对Kα进行严格的单色化处理一般是去除Kα2而保留Kα1 。如果Kα1、Kα2双线共存，衍射谱会出现所谓的”峰分裂“假象，即衍射峰随衍射角增大逐渐分裂成两个相对强度约为2:1的衍射峰；而如果是单波长Kα1衍射，不会出现这种现象 。原因很简单，从Bragg公式2dsinθ=λ就可以看出波长对角度的影响了：波长一定时，衍射晶面间距越小则角度越大 。对于Cu靶，100nm以上的结晶物从2θ=40度开始即可分辨出分别对应Kα1、Kα2的衍射峰，但50nm以下的结晶物则因衍射峰宽化难以分辨 。将X射线（如Cu的Kα辐射）射到一粒单晶体上会发生衍射，由对衍射线的分析可以解析出原子在晶体中的排列规律，也即解出晶体的结构 。