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1、首先去除硅片表面的有机沾污 ， 因为有机物会遮盖部分硅片表面 ， 从而使氧化膜和与之相关的沾污难以去除；
【硅片清洗如何 硅片的清洗方法】2、然后溶解氧化膜 ， 因为氧化层是“沾污陷阱” ， 也会引入外延缺陷；最后再去除颗粒、金属等沾污 ， 同时使硅片表面钝化 。

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