2.成像系统
该系统包括样品室、物镜、中间镜、对比度光阑、衍射光阑、投影镜等电光元件 。样品室有一套机制,保证样品频繁更换时,主体的真实性不会被破坏 。样品可以在X和Y方向上移动,以找到要观察的位置 。会聚镜得到的平行电子束照射样品,穿过样品后,具有反映样品特征的信息,在物镜和对比光阑的作用下形成一次电子像,再经中间镜和投影镜一次放大,在荧光屏上得到最终的电子像 。
照明系统提供一束相干性好的照明电子束 。这些电子穿过样品后,携带着样品的结构信息,向不同的方向传播(例如当有一组晶面满足布拉格方程时,可能在与入射光束相交的方向产生衍射光束) 。物镜将来自样品不同部分的具有相同传播方向的电子会聚到其后焦平面上的一个点上 。不同方向传播的电子对应形成不同的光斑,其中散射角为零的直射束聚焦在物镜的焦点上,形成中心光斑 。因此,衍射图案形成在物镜的后焦平面上 。在物镜的像平面上,这些电子束重新组合以进行相干成像 。通过调节中间镜的透镜电流,中间镜的物平面与物镜的后焦平面重合,可以在荧光屏上获得衍射图样 。如果中间镜的物平面与物镜的像平面重合,则可以获得显微图像 。
透射电子显微镜和透射光学显微镜的光路比较
3.观察照相馆
电子图像反映在荧光屏上 。荧光与电子束电流成正比 。把荧光屏换成电子干版就可以拍照了 。干板的光敏性与其波长有关 。
4 。True 空系统
True 空系统由机械泵、油扩散泵、离子泵、True 空测量仪和true 空管路组成 。它的作用是去除镜筒内的气体,使镜筒的真空度至少要在10-5乇以上,目前最好的真空度可以达到10-9-10-10乇 。如果真空度较低,电子与气体分子的碰撞会引起散射,影响对比度,还会引起电子栅与阳极之间的高压电离,造成极间放电,残留气体还会腐蚀灯丝,污染样品 。
5 。电源控制系统
加速电压和透镜磁流的不稳定会导致严重的色差,降低电子显微镜的分辨率,因此加速电压和透镜电流的稳定性是衡量电子显微镜性能的重要标准 。透射电镜的电路主要由以下几部分组成:高压DC电源、镜头激励电源、偏转线圈电源、电子枪灯丝加热电源、true 空系统控制电路、true 空泵浦电源、照相驱动装置、自动曝光电路 。
【电子显微镜多少钱 电子显微镜原理】另外,很多高性能电子显微镜都配有扫描附件、能谱、电子能量损失谱等仪器 。透射电子显微镜的结构和成像原理 。
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