美国将国产光刻机龙头纳入“未经核实清单”，33家中国实体中招【附名单】...( 二 ) _有限

32、
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33、 CRRCCo.
株洲中车特种装备科技有限公司
02.
上海微电子刚刚发运
中国首台2.5D/3D先进封装光刻机
在33家最新被列入“未经核实清单”的中国实体中，有备受关注的国产光刻机厂商上海微电子。光刻机是半导体芯片生产过程中技术难度最高的设备之一，直接影响着先进制程芯片的生产。目前全球能够生产最先进EUV（极紫外）光刻机的厂商仅有荷兰的ASML 。
上海微电子成立于2002年3月，是我国唯一一家光刻机整机厂商，由于当前中芯国际等国产芯片制造厂商迟迟无法获得EUV光刻机，上海微电子的先进光刻机研发进度备受行业关注。
昨日，上海微电子刚刚举行了中国首台2.5D/3D先进封装光刻机的发运仪式。不过和用于前道晶圆制造的光刻机不同，该光刻机主要用于先进封装这一后道工序。
▲中国首台2.5D/3D先进封装光刻机发运仪式（图片来源：张江高科官微）
据悉，此次发运的产品是新一代的先进封装光刻机，主要应用于高端数据中心高性能计算（HPC）和高端AI芯片等高密度异构集成领域，可满足2.5D/3D超大芯片尺寸的先封装应用需求，代表了行业同类产品的最高水平。
【美国将国产光刻机龙头纳入“未经核实清单”，33家中国实体中招【附名单】...】目前，先进封装光刻机是上海微电子的主打产品，全球市场占有率连续多年排名第一。